AESとは？AESで何がわかるか

物質に電子線を照射すると，物質を構成する原子から電子が放出されて空孔が生じます（励起状態）．この空孔に対してエネルギー準位の高い外殻の電子が遷移することで励起状態から基底状態に戻る際に，外殻の他の電子がオージェ電子として放出されます．オージェ電子は元素固有の値を持つことから，オージェ電子のエネルギーと強度を測定することにより，試料に含まれる元素の定性分析と定量分析ができます．

AES（JEOL JAMP-9500F）の特徴

★FE電子銃を搭載

電界放出形の電子銃を搭載しています．高空間分解能の二次電子像で表面構造を観察しながら元素分析が可能です．

★イオンエッチング銃搭載

深さ方向の分析（デプスプロファイル）が可能です．

AES測定用の試料について

測定可能な試料

金属、セラミックス・ガラス

試料形状

固体（バルク、粉末）

試料サイズ

小型ホルダー：厚さ 4 mm以下，直径 10 mm以下
大型ホルダー：厚さ 5 mm以下，直径 18 mm以下

試料に関する注意

オージェ分析ではコンタミ（試料汚染）が分析に強く影響を与えます．試料及び試料台は素手で触れてはいけません．

 

JEOL JAMP-9500Fの利用について

利用方法

現地利用　
半遠隔利用　web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用

利用補足

機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。