機種 ：JEOL JCM-6000Plus
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設置場所 ：分析計測センター124室
担当教員 ：宮下 幸雄
担当技術職員：◯高橋 美幸
卓上型高真空SEM
EDS検出器（JEOL）搭載
SEMとは？SEMで何がわかるか
試料に電子線を照射すると，試料中の電子が二次電子として放出されます．SEMでは，数nm径に絞った電子線で試料表面を走査（scan）することにより，試料の各点における二次電子放出量を求めます．得られた二次電子放出量の分布を明るさの変化として表したものがSEM像となります．二次電子の放出量は試料表面の凹凸を反映するため，SEMを用いることにより試料の表面構造を数十万倍程度の倍率で観察することができます．また，SEMは光学顕微鏡よりも焦点深度が深いため，立体的な像を得ることができます．
Benchtop SEM（JEOL JCM-6000Plus）の特徴
- ★EDXによる元素分析
- エネルギー分散型X線分析装置（Energy Dispersive X-ray Spectrometer, EDXあるいはEDS）を搭載しており，試料から放出される特性X線を検出することができます．定性・定量（スタンダードレスによる簡易定量）分析や，元素マッピングを行うことができます．
Benchtop SEM測定用の試料について
- 測定可能な試料
- 金属
- 試料形状
- 固体（バルク）
- 試料サイズ
- 標準試料ホルダー：直径25 mm以下，高さ38 mm以下
大型試料載台使用の場合：直径70 mm以下，高さ38 mm以下 - 試料に関する注意
- 金属材料専用です
- 試料の調整方法
- 試料はカーボンテープなどを用いて試料台に固定します．
JEOL JCM-6000Plusの利用について
- 利用方法
- 現地利用
半遠隔利用 web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
完全遠隔利用 リモートデスクトップ機能による単独での利用 - 利用補足
- 機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。
