機種 ：Hitachi TM3030Plus
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設置場所 ：分析計測センター120-2室
担当教員 ：牧 慎也
担当技術職員：◯高橋 美幸、近藤 みずき、武田 百合子、江村 望
低真空での観察可能
EDS検出器（Oxford）搭載
SEMとは？SEMで何がわかるか
電子線で試料表面を走査（scan）し，試料の各点における二次電子の放出量を求めます．得られた二次電子放出量の分布を明るさの変化として表したものがSEM像となります．二次電子の放出量は試料表面の凹凸を反映するため，SEMを用いることにより試料の表面構造を高倍率で観察することができます．
Desktop SEM（Hitachi TM3030Plus）の特徴
- ★低真空下で多様な試料の観察が可能
- 試料室が低真空（数～数十Pa）であるため，多少の水分を含む生物材料や有機材料などの測定も可能です．また，セミインレンズ方式のFE-SEMでは測定ができない粉末の磁性材料の測定もできます．
- ★EDXによる元素分析
- Oxford製のエネルギー分散型X線分析装置（Energy Dispersive X-ray Spectrometer, EDXあるいはEDS）を搭載しており，試料から放出される特性X線を検出することができます．定性・定量分析や，元素マッピングを行うことができます．
SEM測定用の試料について
- 測定可能な試料
- 金属、セラミックス・ガラス、有機物・高分子、含水・生物試料
- 試料形状
- 固体（バルク、粉末）
- 試料サイズ
- ＜標準ステージ＞※写真参照
標準の試料台は直径30 mm
試料サイズは最大で直径70 mm，高さ50 mm
（市販のM4ねじ付き断面観察用試料台が使用できます）
- 試料の調整方法
- ＜標準ステージ＞
試料は試料台にカーボンテープやカーボンペーストなどを用いて固定します．粉末試料の場合，試料の飛散によるEDS検出器の破壊を防ぐためにカーボンペーストで固定してください．
Hitachi TM3030Plusの利用について
- 利用方法
- 現地利用
半遠隔利用 web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
- 利用補足
- 機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。
