EPMAとは？EPMAで何がわかるか

物質に電子線を照射すると，物質を構成する原子から電子が放出されて空孔が生じます（励起状態）．この空孔に対してエネルギー準位の高い外殻の電子が遷移することで励起状態から基底状態に戻る際に，特性X線が放出されます．特性X線のエネルギー（波長）は内殻と外殻のエネルギー差に対応し元素固有の値を持つことから，特性X線のエネルギーと強度を測定することにより，試料に含まれる元素の定性分析と定量分析ができます．

EPMA測定用の試料について

測定可能な試料

金属、セラミックス・ガラス

試料形状

固体（バルク、粉末）

試料サイズ

試料台：[LH9]直径20 mm × 深さ15 mm × 9個
　　　　[LH4]直径32 mm × 深さ15 mm × 4個

試料に関する注意

定量測定の際はLH9のみ。LH4を使用したい場合は、事前にご相談ください。
LH9は、試料を7～9番にセットしてください。
試料室の真空度を維持するため、水分を含む試料や電子ビームを照射するとガスを放出する試料（有機材料や生体材料など）の測定はお断りしています。
また、粉末の磁性材料も測定できません。

試料の調整方法

試料台にカーボンテープなどを用いて固定します。導電性が無い試料を観察する場合、チャージアップの発生や試料へのダメージを防止するために、試料表面をコーティングすることが必要です。

JEOL JXA-iHP200Fの利用について

利用方法

現地利用　
半遠隔利用　web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
完全遠隔利用　リモートデスクトップ機能による単独での利用

利用補足

機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。