FE-SEMとは？FE-SEMで何がわかるか

FE-SEM（Hitachi SU8230）の特徴

★高分解能SEM．数十万倍での観察が可能

冷陰極電界放出型電子銃（cold FE電子銃）およびセミインレンズ方式の対物レンズを備えているため，高分解能観察が可能です．

★EDXによる元素分析

Oxford製のエネルギー分散型X線分析装置（Energy Dispersive X-ray Spectrometer, EDXあるいはEDS）を搭載しており，試料から放出される特性X線を検出することができます．高空間分解能での定性・定量分析や，元素マッピングを行うことができます．

★EBSDによる結晶構造の解析

Oxford製の電子線後方散乱回折（Electron Backscatter Diffraction, EBSD）分析装置を搭載しています．菊池パターンを取得し解析することで，試料表面の結晶構造や結晶方位に関する情報を得られます．

FE-SEM測定用の試料について

測定可能な試料

金属、セラミックス・ガラス

試料形状

固体（バルク、粉末）

試料サイズ

直径15 mm以内，高さ20 mm以内．
これより大きい試料の測定に関してはスタッフに要相談．

試料に関する注意

試料室の真空度を維持するため，水分を含む試料や電子ビームを照射するとガスを放出する試料（有機材料や生体材料など）の測定は原則お断りしてます．また，対物レンズがセミインレンズ方式であるため，粉末の磁性材料の測定も原則できません．

試料の調整方法

試料は試料台にカーボンテープあるいはカーボンペーストなどを用いて固定します．導電性がない試料を観察する場合，チャージアップの発生や試料へのダメージを防止するために試料表面をコーティングすることが必要です．金，白金，カーボン，オスミウムのコーティング装置が利用可能です．

Hitachi SU8230の利用について

利用方法

現地利用　
半遠隔利用　web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
完全遠隔利用　リモートデスクトップ機能による単独での利用

利用補足

機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。