機種 ：Hitachi FB2200
設置場所 ：物理化学実験棟131-1室
担当教員 ：本間 智之、Do Thi Mai Dung、郭 妍伶
担当技術職員：◯小杉 健一朗
マイクロサンプリング法によるTEM試料作製が可能．
FIBとは？FIBで何がわかるか
試料表面にGaイオンビームを照射し，試料表面の原子をスパッタリングで飛ばすことにより試料の加工を行います．二次電子像を見ながら加工位置を決定できること，ビーム径を最小数十nm径に絞ることが可能であることから，試料の特定の位置だけをナノメートルオーダーで加工できる特徴を有します．SEM観察用の断面を作製したり，TEM観察用の超薄切片を作製することができます．
FIB測定用の試料について
- 測定可能な試料
- 金属、セラミックス・ガラス、有機物・高分子
- 試料形状
- 固体（バルク、粉末）
- 試料サイズ
- 試料に関する注意
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Hitachi FB2200の利用について
- 利用方法
- 現地利用
半遠隔利用 web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
- 利用補足
