機種 ：JEOL JSM-IT800(SHL)
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設置場所 ：分析計測センター214室
担当教員 ：田中 諭、金井 綾香、小松 啓志
担当技術職員：◯高橋 美幸、小杉 健一朗、河原 夏江
ショットキー電⼦銃、同⼀ソフトでの表⾯観察とEDS分析．
デュアルEDS検出器、軟X線分光器(SXES-ER)搭載．
FE-SEMとは？FE-SEMで何がわかるか
電子線で試料表面を走査（scan）し，試料の各点における二次電子の放出量を求めます．得られた二次電子放出量の分布を明るさの変化として表したものがSEM像となります．二次電子の放出量は試料表面の凹凸を反映するため，SEMを用いることにより試料の表面構造を高倍率で観察することができます．
FE-SEM測定用の試料について
- 測定可能な試料
- 金属、セラミックス・ガラス
- 試料形状
- 固体（バルク、粉末）
- 試料サイズ
- 直径26 mm × 高さ10 mm
これより高さ方向に大きい試料に関してはスタッフにご相談ください． - 試料に関する注意
- 対物レンズがセミインレンズ方式であるため、粉末の磁性材料の測定はできません．
- 試料の調整方法
- 試料は試料台にカーボンテープあるいはカーボンペーストなどを用いて固定します．導電性がない試料を観察する場合，チャージアップの発生や試料へのダメージを防止するために試料表面をコーティングすることが必要です．金，白金，カーボン，オスミウムのコーティング装置が利用可能です．
JEOL JSM-IT800(SHL)の利用について
- 利用方法
- 現地利用
半遠隔利用 web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
完全遠隔利用 リモートデスクトップ機能による単独での利用 - 利用補足
- 機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。
