集束イオンビーム加工装置(Hitachi/FB2200)総合整備のお知らせ FIB(Hitachi/FB2200)は以下の期間、総合整備を行うためご利用がいただけません。 3月14日(月)〜 18日(金) ご利用のみなさまにはご迷惑おかけいたしますが、ご容赦のほどよろしくお願いいたします。