SEMとは？SEMで何がわかるか

試料に電子線を照射すると，試料中の電子が二次電子として放出されます．SEMでは，数nm径に絞った電子線で試料表面を走査（scan）することにより，試料の各点における二次電子放出量を求めます．得られた二次電子放出量の分布を明るさの変化として表したものがSEM像となります．二次電子の放出量は試料表面の凹凸を反映するため，SEMを用いることにより試料の表面構造を数十万倍程度の倍率で観察することができます．また，SEMは光学顕微鏡よりも焦点深度が深いため，立体的な像を得ることができます．

Flex SEM（Hitachi FlexSEM 1000 II））の特徴

★数万倍での観察が可能

WフィラメントのSEMとなりますが，数万倍での観察が可能です．

★EDXによる元素分析

Oxford製のエネルギー分散型X線分析装置（Energy Dispersive X-ray Spectrometer, EDXあるいはEDS）を搭載しており，試料から放出される特性X線を検出することができます．数万倍での元素マッピングを行うことができます．

★低真空（6～100 Pa）での観察可能

低真空モードでは非導電性の試料の観察も可能です．

★3次元測定ソフトウェア Hitachi map 3D搭載

Flex SEM測定用の試料について

測定可能な試料

金属、セラミックス・ガラス、有機物・高分子

試料形状

固体（バルク、粉末）

試料サイズ

標準試料台（カップ試料ホルダー）：
（大）直径52 mm以下，高さ 40 mm以下．※写真参照
（小）直径26 mm以下，高さ 40 mm以下．

試料に関する注意

標準試料台では装置の傾斜機構（Tilt）は使用できません．断面試料観察時には，L字試料台等に試料を張り付けたものを標準試料台に載せてください．

試料の調整方法

試料は試料台にカーボンテープやカーボンペーストなどを用いて固定します．粉末試料の場合，試料の飛散によるEDS検出器の破壊を防ぐためにカーボンペーストで固定してください．

Hitachi FlexSEM 1000 IIの利用について

利用方法

現地利用　
半遠隔利用　web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
完全遠隔利用　リモートデスクトップ機能による単独での利用

利用補足

機器を直接操作（現地利用）するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。