全自動光電子分光装置 XPS/UPS

機種    :Thermo Fisher Scientific Nexsa
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設置場所  :物質・材料経営情報棟263室
担当教員  :田中 久仁彦、西川 雅美、小松 啓志、金井 綾香
担当技術職員:◯上野 悠一、豊田 英之、近藤 みずき

10μm~400μmの微小領域分析、高感度・高エネルギー分解能XPS分析が可能
分析オプション(RAMAN、REELS、UPS、ISS)搭載*
*オプション分析希望者は、必ず装置担当者にご相談ください

メーカー講習会アーカイブ公開中

XPSとは?XPSで何がわかるか

固体試料表面にX線を照射すると,光電効果により試料中の電子が光電子として放出されます.光電子の運動エネルギーから,原子内における電子の結合エネルギー(binding energy)を求めることができます.この結合エネルギーは元素固有の値を持つことから,試料表面の元素の定性・定量分析を行うことができます.また,化学結合状態により結合エネルギーがシフトするため,化学シフトから化学結合状態を知ることができます.この分析手法はESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)とも呼ばれます.

XPS測定用の試料について

測定可能な試料
金属、セラミックス・ガラス、有機物・高分子
試料形状
固体(バルク、粉末)
試料サイズ
60 mm × 60 mm以内
高さ5 mm以内(どうしても超える場合は装置担当者にご連絡ください)
粉末試料:装置担当者にご連絡ください
試料に関する注意
エントリーチャンバー圧力が10-7 mbar以下にならない場合、試料導入不可。真空中でガスを発生するものは、ご注意ください。X線の照射によりガスを発生するもの、分解するもの等は導入いただけません。
 

Thermo Fisher Scientific Nexsaの利用について

利用方法
現地利用 
半遠隔利用 web会議システムによる現地スタッフとの協働的な利用
完全遠隔利用 リモートデスクトップ機能による単独での利用
利用補足
機器を直接操作(現地利用)するにはスタッフから講習を受けて操作方法を習得後、スタッフが行う技能認定試験に合格する必要があります。