機器No.AICJU12 冷陰極電界放出形走査電子顕微鏡 Cold FE-SEM

FE-SEMとEDS/EBSDとの間に通信トラブルが発生したため、現在EDS/EBSDの測定ができません。
日立ハイテクのエンジニアによる復旧作業の日程を調整中ですが、復旧まで1~2週間程度を要することが
見込まれます。
ご迷惑をお掛けして申し訳ございませんが、ご容赦の程よろしくお願い致します。

センターにはEDS/EBSD測定が可能なFE-SEMとして以下の機種がございますので、 お急ぎの場合は
そちらの利用もご検討いただけると幸いです。

・EDS：Schottky FE-SEM(JEOL/JSM-IT800(SHL))
・EBSD：FIB/FE-SEM(JEOL/JIB-4700F)

なお、FE-SEMでの観察のみであれば問題なく行えます。観察のみの方はごれまで通り予約して
ご利用ください。どうぞよろしくお願い致します。

利用がかさむ時期にこのような状況となり、大変心苦しく思っております。
ご迷惑をおかけし、大変申し訳ありません。

ご理解、ご協力をどうぞよろしくお願いいたします。

 

Dear FE-SEM (Hitachi SU8230) Users,

Now, EDS/EBSD measurement cannot be performed due to a trouble for the connection between SEM and EDS/EBSD.
Recovering from this trouble may take 1~2 weeks, as it requires work by Hitachi enginners.

If you are urgent in the EDS/EBSD measurement, you can use below equipment instead of Hitachi SU8230.
- EDS: Schottky FE-SEM (JEOL JSM-IT800(SHL))
- EDS/EBSD: FIB/FE-SEM (JEOL JIB-4700F)

For those who use only SEM, you can use it as before.
We would appreciate it if you would understand this situation.